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Das Lichtpausverfahren ist ein Verfahren zur Kopie einer transparenten Vorlage. Dabei wird das Original auf ein sogenanntes Diazo-Papier gelegt und mit einer UV-Lampe belichtet. Das Diazo-Papier ist mit einer UV-Licht empfindlichen Oberfläche versehen. An den Stellen, an denen im Original Informationen sind, bleibt diese Schicht erhalten, an allen anderen Stellen zerfällt die Schicht in eine farblose Verbindung.

Das belichtete Papier wird nun mit Salmiakgeist-Dampf besprüht. Die noch bestehende Diazo-Schicht reagiert mit dem enthaltenen Ammoniak und bildet einen Diazo-Farbstoff.

Der restliche Ammoniak verflüchtigt sich und die Kopie bleibt trocken, deshalb spricht man hier auch vom Trockenpausverfahren.